生産システムの省エネルギー化評価手法及び適用ガイドに関する国際標準化【2018(平成30)年度】

■概要
ISO 20140のPart2（環境性能評価プロセス）のIS登録を平成30年7月に完了し、Part3（環境性能評価データ積算プロセス）のFDIS登録を目指した継続規格開発と、ISO 20140に関係する適用ガイドTR（Technical Report：Usage Guide for ISO 20140）の新規提案を実施した。

■2018年度成果
生産システムの省エネルギー化評価手法及び適用ガイドに関する国際標準化成果報告書を作成

１）エネルギー・資源効率評価手法の国際標準化
　・ISO 20140 Part2 IS発行(7/31)、ISO 20140 Part3 FDIS投票開始(2/15-4/12)

２）エネルギー・資源効率評価実験と結果の評価
　・ウェハの微細構造加工プロセスを対象として電力、消耗品の排出量を測定。
　・ISO 20140 Part2・Part3を適用し、環境影響を評価。各制御パラメータの環境に与える効果の傾向を把握。